• 网站导航
    • 热处理加工
    • 商品
    • 商铺
    • 资讯
    • 企业
    搜索

    首页 材料设备 控制系统及仪表 仪器、仪表 S49 33高性能气体流量控制器，质量流量计

    S49 33高性能气体流量控制器，质量流量计

    S49 33高性能气体流量控制器，质量流量计

    • 品牌：HORIBAMETRON
    • 价格：0元
    • 起订量：1
    • 发货期限：电议
    • 运费：买家承担
    • 售后（整机免费保修）：1年
    • 采购量：
      商品编号：6
      起订量：1
      品牌：HORIBAMETRON
      发货期限：电议
      运费：买家承担
      售后：1年
      规格：气体流量计，质量流量计
      型号：S49 33/MT
      最高温度：50
      用途：半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制；
      材质：不锈钢
      热处理工艺：热式原理
      产地：北京
      增值税发票：有

        气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

        S49系列质量流量控制器(流量计)特点：

        *采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等

        *适用于各种腐蚀性气体

        *气体流量不因温度、压力的变化而失准

        *高精度   

        *重复性好 

        *响应速度快、软启动、稳定可靠

        *低压降

        *工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。

        *操作使用方便，可任意位置安装

        *便于与计算机连接实现自动控制。

        S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：

        *半导体制造行业的气体流量控制

        *分析仪器设备的气体计量与控制

        *各种形式的真空镀膜设备

        *环境检测与分析设备

        *化工、石化、食品行业气体流量监测和控制

        *特种材料表面处理装置与燃烧控制

        *混气配气系统和泄漏探测系统等

        2．S49系列质量流量控制器(流量计)型号

        本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。

        质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。

        型式批准证书:2011F215-11

        执行Q/CYHMT001-2011企业标准

        许可证编号：京制01050063号

        3．主要技术指标

        质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。

        质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min  (毫升/分钟) (SCCM行业标准)

        标准状态L/min   （升/分钟）  (SLM行业标准)

        标准状态规定为:温度 ---   0℃ 

        气压 —  101325 Pa

        F.S (Full Scale):表示满量程值

         

         

         

         

        表1 S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标

        编号

        项目

        S49 33/MT

        1

        流量规格

        (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

        (1,2,3,5,10)  L/min

        (15,20,30) L/min

        2

        调节阀类型

        电磁调节阀

        3

        调节阀静止位置

        常闭

        4

        准确度

        ± 1.0% F.S

        ± 2.0% F.S

        5

        线性    

        ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S

        6

        重复精度 

        ±0.2  %F.S

        7

        响应时间

        ≤8 s（T95）

        8

        工作压差范围

        (50 ～ 300) kPa；  (10～30)L/min (100～300)kPa

        9

        耐压

        3 MPa  ﹑ 10 MPa

        10

        工作环境温度

        5℃ ～ 45℃

        11

        材料

        不锈钢316L

        12

        标准密封材料

        Viton®﹑EPDM,  或其他

        13

        漏率

        1×10-8 Pa.m3/s

        14

        接头

        Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，

        软管接头Ф4mm～Ф10mm  或其它

        15

        输入输出信号

        0 V ～ +5.00 V

        (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

        16

        电源

        +15 V   50 mA

        -15V  200 mA

        17

        外形尺寸 mm

        134×134×38

        18

        重量      kg

        1.2

        注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。



        专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆（HORIBAMETRON）
        产品适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
        公司联系电话：400-018-8101
        公司网站：www.horibametron.com
      • 商品满意度
      • 同类商品平均值4.0
      • 售后满意度
      • 同类商品平均值4.0
      • 成交个数
      • 0
      • 采购人数
      • 0

      全部评价(0)

      • 会员
      • 评语
      • 商品满意度
      • 服务态度
      • 送货速度
      • 送货态度
      • 综合分数

    该商铺其他商品