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    高量程S48 28流量计,北京气体质量流量计厂家

    高量程S48 28流量计,北京气体质量流量计厂家

    • 品牌:HORIBAMETRON
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    • 起订量:1
    • 发货期限:电议
    • 运费:买家承担
    • 售后(整机免费保修):1年
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      商品编号:3
      起订量:1
      品牌:HORIBAMETRON
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      运费:买家承担
      售后:1年
      规格:气体流量计,质量流量计
      型号:S48 28/HMT
      最高温度:50
      用途:半导体制造行业的气体流量控制; 分析仪器设备的气体计量与控制;
      材质:不锈钢
      热处理工艺:热式气体质量流量计
      产地:北京
      增值税发票:
        编号 项目 S48 28/HMT
        1 流量规格  (100,150,200)L/min
        2 调节阀类型 电磁调节阀
        3 调节阀静止状态 常闭
        4 安装角度 任意
        5 流量控制范围 5%~100%
        6 流量测量范围 0~100%
        7 响应时间 2s(T98,设定值的±2% F.S.)
        8 工作环境温度 5℃~50℃
        9 精度保证温度 15℃~35℃
        10 精度 ±1.0%F.S.
        11 线性精度 ±0.5%F.S.
        12 重复性 ±0.2%F.S.
        13 工作压差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
        14 耐压 3MPa
        15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He)
        16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶
        17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
        VCR:1/4″3/8″
        18 供电电源 ±15VDC(±5%)  
        +15V,<100mA;-15V,<200mA
        +24VDC(宽电压+11~+25V),
        <350mA(+24VDC供电时)
        19 设定信号 (0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
        20 流量输出信号 (0~5)VDC 负载能力≤3mA  
        21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9
        22 重量(kg) 2.8
        专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆(HORIBAMETRON)
        产品适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。
        公司联系电话:400-018-8101
        公司网站:www.horibametron.com
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