S49 31热式气体流量计，高性能质量流量计产品

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商品编号：	4
起订量：	1
品牌：	HORIBAMETRON
发货期限：	电议
运费：	买家承担
售后：	1年
规格：	气体流量计，质量流量计
型号：	S49 31/MT
最高温度：	50
用途：	半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；
材质：	不锈钢
热处理工艺：	热式原理
产地：	北京
增值税发票：	有

1. 特点及主要应用领域

气体质量流量控制器（流量计）Mass gas flow controller（meter）缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点：

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域：

半导体制造行业的气体流量控制；

分析仪器设备的气体计量与控制；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

特种材料表面处理装置与燃烧控制；

混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号

S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)，S49为质量流量控制器(流量计)产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。

质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量；

质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能。

型式批准证书：2011F215-11

执行Q/CYHMT001-2011企业标准

许可证编号：京制01050063号

3.主要技术指标

质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准)

L/min （升/分钟）。 (SLM行业标准)

标准状态为：温度----273.15K（0℃）；

气压----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标

编号	项目	S49 32/MT
1	流量规格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	准确度	±1.5%F.S
5	线性	±1.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	≤8秒（T95）
8	工作压差范围	（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9	耐压	3MPa; 10MPa
10	工作环境温度	（5～45）℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®， EPDM，或其他由用户指定
13	漏率	1×10-8Pa.m3/s
14	接头	Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15	输入输出信号	（0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16	供电电源	±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17	外形尺寸mm	130（宽）×102（高）×28（厚）
18	重量kg	0．8

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