S48 300热式气体流量计，数字流量计产品

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商品编号：	1
起订量：	1
品牌：	HORIBAMETRON
发货期限：	电议
运费：	买家承担
售后：	1年
规格：	气体流量计，质量流量计
型号：	S48 300/HMT
最高温度：	50
用途：	半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；
材质：	不锈钢
热处理工艺：	电议
产地：	北京
增值税发票：	有

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

1.1 使用范围

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

1.2 质量流量控制器和质量流量计

质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。

1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点

☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

☆可任意角度安装。

☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

S48 300/HMT数字流量控制器技术指标

编号	项目	S48 300/HMT
1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装角度	任意
5	流量控制范围	2%-100%F.S.
6	流量测量范围	0-100%F.S.
7	响应时间	≤ 1 sec
8	工作环境温度	5-50℃
9	精度保证温度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	线性精度	±0.5%F.S.
12	重复性	±0.2%F.S.
13	工作压差	-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐压	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接触气体材料	316L，Viton® 氟橡胶，PTFE
17	管路接头	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供电电源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	设定信号	数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ
20	流量输出信号	数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA
21	通讯接口	数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15
22	重量(kg)	0.9