影像测量仪/ITO/TFT检测 - 热处理商务网

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影像测量仪/ITO/TFT检测

影像测量仪/ITO/TFT检测

产品介绍

1、00级花岗岩底座和立柱/工作平台，确保机台拥有极高的稳定性和刚性，工作台整体铸造，经时效热处理/稳定化处理；

2、工作台采用双面扣式设计，选用精密P级V型导轨，拥有极高的直线性，运行的机械精度，精密光轴传动，无间隙，可快速移动，定位精度高；

3、激光指示器指示测量位置，快速定位；

4、高分辩率日本CCD配高品质的美国NAV光学镜头，确保高品质的测量画面；

5、选用精密级新天光学尺，分辩率为0.0005mm（0.5um）,重复精度为0.001mm；

6、功能强大的测量软件，可手动批量编程测量，多种报表格式输出转换；

7、可选配高清ITO/TFT专用导电薄膜进口光学镜头CCD，选配英国RENSHAM接触式测头组。

产品规格参数 长度单位：mm

仪器型号			VMS-2010	VMS-3020	VMS-4030	VMS-5040
工作台	X/Y轴行程		200×100	300×200	400×300	500×400
	Z轴行程		有效空间245mm,调焦行程170mm，工作距离95mm
	金属台尺寸		350×220	450×350	550×450	700×600
	玻璃台尺寸		230×130	330×230	430×330	530×430
	传动型式		X/Y轴光杆传动、Z轴光轴传动
数字测量系统	光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005mm(0.5um)
	测量精度：≤3um+L/200 重复精度：≤1um+L/200
	多功能数据处理器可测点、线、圆、角度等
影像系统	摄像机：日本彩色1/3” CCD摄像机放大倍率30-230X
	镜头：NAV高清变倍镜头/连续放大分辨率0.7-4.5X 可选配0.5X物镜时，总放大倍率15-115X 可选配2X物镜时，总放大倍率60-460X
照明系统	表面光源与透射光源冷光源、寿命长、亮度可调
仪器外开尺寸		5007001100		6007501100	7009001150	85010501200
仪器重量(KG)		180		260	300	500